切記!愛德華真空泵維修時必須遵循專業(yè)規(guī)范
點擊次數(shù):59 更新時間:2025-12-09
愛德華真空泵廣泛應(yīng)用于半導體制造、科研實驗、醫(yī)療設(shè)備及鍍膜工藝等對真空度、潔凈度和穩(wěn)定性要求高的領(lǐng)域。其產(chǎn)品涵蓋旋片泵、干式螺桿泵、渦輪分子泵等類型,結(jié)構(gòu)精密、材料特殊。一旦出現(xiàn)故障,若維修操作不當,不僅難以恢復性能,還可能造成二次損壞或安全隱患。因此,
愛德華真空泵維修時必須遵循專業(yè)規(guī)范,做到安全、原廠、細節(jié)。

一、愛德華真空泵維修前準備
斷電與泄壓:務(wù)必切斷主電源,并通過排氣閥釋放泵腔內(nèi)殘余真空與壓力,防止意外啟動或油液噴濺;
冷卻等待:運行后的泵體溫度可達80℃以上,需靜置至室溫再拆卸,避免燙傷或熱變形;
查閱手冊:嚴格參照維修指南(如iGLX、nXDS系列手冊),確認拆裝順序與專用工具要求。
二、核心注意事項
嚴禁非授權(quán)拆解
愛德華真空泵多采用模塊化密封設(shè)計,內(nèi)部軸承、轉(zhuǎn)子間隙精度達微米級。非專業(yè)人員強行拆卸易導致動平衡破壞、密封失效。建議僅由經(jīng)認證的技術(shù)人員操作,或返廠維修。
使用原廠備件
油封、O型圈、葉片、潤滑油等必須選用原廠配件。劣質(zhì)替代品可能導致:
油品不兼容引發(fā)碳化堵塞;
密封件耐溫/耐化學性不足,造成泄漏;
軸承公差不符,加劇振動與磨損。
潤滑油更換規(guī)范
排油時趁熱進行,確保舊油及污染物排出;
使用固定型號真空油(如Edwards ULTRAGRADE 15/19);
加注量嚴格按刻度線,過多導致過熱,過少引起潤滑不足。
防污染與潔凈操作
維修環(huán)境應(yīng)保持無塵,所有工具、零件用無絨布覆蓋。尤其在半導體或醫(yī)療應(yīng)用中,微粒污染會直接導致工藝失敗。裝配前用高純氮氣吹掃腔體。
電氣與安全聯(lián)鎖檢查
干泵常集成溫度、振動、壓力傳感器。維修后需測試:
過熱保護是否觸發(fā);
反向旋轉(zhuǎn)報警功能;
急停按鈕響應(yīng)速度。